SEM )Scanning Electron Microscope or Scanning Electron Microscopy)

المِجْهَرُ الإِلِكتْرونِيّ الماسح;هو نوع من أنواع المجاهر الإلكترونية التي تنتج صور عينة عن طريق المسح بواسطة شعاع مركز من الإلكترونات. تتفاعل الإلكترونات مع الذرات في العينة، وتنتج إشارات مختلفة تحتوي على معلومات حول تضاريس السطح وتكوينه. يتم مسح شعاع الإلكترون بشكل عام باستخدام المسح النقطي ويتم الجمع بين موقع الشعاع مع الإشارة لإنتاج صورة. ويمكن تحقيق فصل أفضل من 1 نانومتر.;هو مجهر قوي يستخدم الإلكترونات لتكوين صورة. يسمح بتصوير عينات موصلة بتكبير لا يمكن تحقيقه باستخدام المجاهر التقليدية. يمكن أن تحقق المجاهر الضوئية الحديثة تكبيرًا يصل إلى 1000X تقريبًا، بينما يمكن أن تصل مجاهر SEM النموذجية إلى تكبير أكثر من 30000X. وفيه تَمْسَحُ حزمةٌ من الإلكتروناتِ العينةَ نقطةً نقطةً، ممّا يؤدي إلى إصدار حزمة ثانوية تكوِّن صورةً على شاشةٍ فلورية ثلاثية الأبعاد.