SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry)

قِياسُ الطَّيْفِ الكُتلي ثانَوي الأيون;مقياس الطيف الكتلي للأيونات الثانوية عبارة عن تقنية تستخدم لتحليل تكوين الأسطح الصلبة والأغشية الرقيقة عن طريق رش سطح العينة بحزمة أيونية أولية مركزة وجمع وتحليل الأيونات الثانوية المقذوفة.