STEM (Scanning Transmission Electron Microscopy)

اختصار المجهر الإليكتروني الماسح-النفّاذ;هو نوع من المجهر الإلكتروني النافذ (TEM). كما هو الحال مع المجهر الإلكتروني التقليدي (CTEM)، يتم تشكيل الصور بواسطة إلكترونات تمر عبر عينة رقيقة بدرجة كافية. ومع ذلك، على عكس CTEM، يتم تركيز شعاع الإلكترون في STEM على بقعة دقيقة (بحجم البقعة النموذجي 0.05 - 0.2 نانومتر) التي يتم مسحها ضوئيًا على العينة في نظام إضاءة نقطية تم إنشاؤه بحيث تضئ العينة في كل نقطة باستخدام الشعاع الموازي للمحور البصري.